大深槽型光电检测晶片盘转台转动状态

在晶片盘放置位上，底座转台侧面安装大深DS-U系列系列槽型光电，检测晶片盘转台的转动状态，大深槽型可实现高精度检测。当转盘完成设定范围内的动作后，槽型光电感应发送信号指示进行下一个动作。大深U系列的槽型光电以其结构设计，精准快速的机械性能，高频响应，被大量运用在设备上充当“机构关节”进行限位控制。